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行业动态

真空镀金刚石薄膜

d时间:2016-04-19   点击量:2309

金刚石薄膜

   具有优良的性能,如超高硬度,高耐磨损性,低摩擦系数,无可比拟的导热性和化学稳定性等。因此它是切削工具最好的真空镀膜表面涂层材料。

   1用脉冲电弧离子度真空镀膜技术镀制类金刚石膜

   在小弧源真空镀膜靶座上安装石墨靶,在真空镀膜室内通入氩气,真空镀膜真空度为(1-5)X10-1Pa,采用1-12MHz的真空镀膜脉冲电源,真空镀膜镀件温度为0-4000C,偏压为0-300V的工艺条件下,可以获得类金刚石真空镀膜膜层。

   2用真空镀膜磁控溅射离子镀技术镀制类金刚石膜层

   在真空镀膜磁控溅射靶座上安装石墨靶,在真空镀膜室内通入氩气,真空镀膜真空度为(1-5)X10-1Pa,采用40KHz的真空镀膜中频电源,在一定工艺条件下可以获得类金刚石真空镀膜膜层。

   3用真空镀膜弧光等离子体技术镀制类金刚石膜

   在真空镀膜室内通入碳氢化合物气体(C6H6)等。将真空镀膜热丝阴极拴的对面只设水冷阳极,没有坩埚。将含碳氢化合物气体碰撞分解,电离,获得碳氢化合物气体的自由基,高能中性粒子和离子。在一定温度的真空镀膜镀件上施加400V的偏压,2h真空镀膜,可以沉积出6um类金刚石真空镀膜膜层。


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